東京精密は、ACCRETECHブランドで半導体製造装置と精密測定機器を開発・販売しています。半導体製造装置には、プロービングマシン、ダイシングマシンとブレード、ポリッシュグラインダ、CMP装置があり、グループ会社の東精エンジニアリングがウェーハのスライシングマシンなども手がけています。
測定機器では、三次元測定機、表面粗さ・輪郭形状測定機、真円度・円筒形状測定機、光学式測定機、インプロセスゲージ、各種センサーを扱っています。自動車、重機、航空機などの製造業で使われています。2026年3月31日時点の連結従業員数は2,890名です。
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